Dresden: Mehr Geld für Fraunhofer-Leistungszentrum Mikro / Nano

Dabei wird es laufend evaluiert. Wenn zum Ende des Förderzeitraums eine positive Gesamtbewertung besteht, erfolgt eine Anschlussfinanzierung zur Weiterführung für eine nächste Dreijahresperiode. D. h. bei Erfolg Kontinuität – ein Leitprinzip vieler Aktivitäten der Fraunhofer-Gesellschaft.

Die wirtschaftlichen Folgen der aktuellen Lieferengpässe verdeutlichen die Bedeutung der Mikroelektronik. Um hier für die Zukunft gerüstet zu sein, ist, neben neuen Produktionsstätten in Europa, eine Technologiesouveränität in Forschung und Entwicklung erforderlich. Genau dieser Herausforderung stellt sich das Leistungszentrum "Funktionsintegration für die Mikro- / Nanoelektronik". Es bündelt die Kompetenzen von vier Mikroelektronik- Instituten der Fraunhofer-Gesellschaft sowie einschlägiger Institute an Universitäten und Hochschulen in Dresden und Chemnitz. Dadurch schafft das Leistungszentrum ein breites Angebot für Technologien der Mikroelektronik und Mikromechanik. Dieses richtet sich sowohl an die großen Player der Mikroelektronikindustrie als auch dezidiert an kleine und mittelständische Unternehmen (KMU), denen durch die Bereitstellung von flexiblen Technologieplattformen ein niederschwelliges Angebot unterbreitet wird, um von Hochtechnologie zu profitieren, ohne selbst die investitionsintensiven Plattformen entwickeln zu müssen.

In den Jahren 2016 - 2021 wurden, auch mit Projektförderung für das Leistungszentrum durch den Freistaat Sachsen, gemeinsam institutsübergreifende Technologieplattformen entwickelt. In der nun beginnenden Phase der Verstetigung wird der Fokus verstärkt auf den Transfer in die Industrie durch das Angebot von Forschungs- und Entwicklungsleistung unter Nutzung dieser Technologieplattformen liegen. Hierbei werden auch gezielt neue Formen der digitalen Präsentation, wie z. B. ein virtueller Showroom zur Kundenansprache, verwendet. 

"Das Leistungszentrum Mikro / Nano hat sich als wertvoller Partner der Industrie etabliert und transferiert systematisch neue Forschungsergebnisse hin zu innovativen Produktentwicklungen und Anwendungen", so der Koordinator des Leistungszentrums, Prof. Dr. Hubert Lakner vom Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS Dresden. Ein thematischer Schwerpunkt des Transferangebots des Leistungszentrums Mikro / Nano ist der Bereich der integrierten vernetzten Multisensorik für das industrielle Internet der Dinge (IIoT). Ferner bietet das Leistungszentrum eine Transferplattform für die Entwicklung und Nutzung mikromechanischer Ultraschallwandler (MUT) sowie eine Technologieplattform für die Prozessierung und das Wafer-Level-Packaging von 300-mm-Wafern. Das Angebot an Industriekunden reicht von der klassischen Auftragsforschung über die Bereitstellung von Demonstratoren und Prototypen bis hin zur Pilotfertigung. 

Über das Leistungszentrum Mikro/Nano

Leistungszentren organisieren den Schulterschluss der universitären und außeruniversitären Forschung mit der Wirtschaft. Universitäten, Hochschulen, Fraunhofer-Institute und ggf. weitere außeruniversitäre Forschungseinrichtungen arbeiten an einem Standort themenspezifisch mit Unternehmen und gesellschaftlichen Akteuren anwendungsnah zusammen, um Innovationen schnell in die Anwendung zu bringen.

Das Leistungszentrum "Funktionsintegration für die Mikro- / Nanoelektronik" vereint die entlang der Wertschöpfungskette für Produkte der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik angeordneten Kompetenzen der vier Fraunhofer-Institute IPMS (Dresden), ENAS (Chemnitz), IIS-EAS (Dresden) und IZM-ASSID (Dresden) sowie der TU Dresden, der TU Chemnitz und der HTW Dresden (FH). 

Mit dem Leistungszentrum wurde eine institutsübergreifende Plattform für die Kernkompetenzen Systemdesign, Komponenten & Fertigungstechnologien, Systemintegration sowie Zuverlässigkeitsbewertung geschaffen. Diese Kernkompetenzen werden genutzt um insbesondere die folgenden FuE-Themen hoher Industrierelevanz zu bearbeiten: 

• Neue Materialien für neue Funktionalitäten
• Modulare heterogene Wafersysteme
• Plattform für Ultraschallsensorik
• Integrierte Spektrometer mit Nanostrukturen / Optische Systeme
• Sensoren/Aktoren in Werkzeugen und Maschinen

Ferner bietet das Leistungs-/Transferzentrum die Möglichkeit zur anwendungs- und kundenspezifischen Entwicklung und Pilotfertigung von Komponenten, Schaltungen und System-in-Package-(SiP-)Lösungen für Sensorik und Aktorik. So entstehen aus der Kooperation heraus institutsübergreifende Systemlösungen und –demonstratoren zur Sensorik/Aktorik für Industrie 4.0 und speziell für das industrielle Internet der Dinge (IIoT).